Prezentare generală

Fabricile de producție a semiconductorilor, centrele de nanotehnologie, nanofabricile și alte centre de producție și cercetare de precizie combină adesea camere curate cu sisteme de sol false mobile pentru a îndeplini cerințele complexe ale instalațiilor (conducte, cabluri, conducte de gaz etc.) și pentru a menține standarde stricte de curățenie. Această soluție nu se aplică echipamentelor de producție, de testare și de măsurare sensibile la vibrații. Pământul activ nu poate oferi mediul vibrațional liniștit necesar pentru aceste instrumente. TMC Quiet Island oferă o soluție inovatoare prin înlocuirea unei părți din zona de sol activă cu o „insulă liniștită” fixată pe partea de jos a soluției. Quiet Island include partea de sus a platformei pentru o cameră curată compatibilă și o structură de sprijin specifică aplicației și locului.

amortizare

Principalele componente de suport și tehnologia de bază a Quiet Island** sunt integrate în sistemul de amortizare activă STACIS III. Acest sistem de susținere inerțială „rigid” este ideal pentru orice instrument sensibil la vibrații și permite astfel de instrumente să funcționeze la standarde ridicate în medii zgomotoase. STACIS III este compatibil cu unelte automatizate de prelucrare a wafer-urilor, unelte de imagini cu fascicul electronic de înaltă rezoluție, unelte de frezare cu fascicul ionic și orice unelte cu un sistem de izolare internă pasivă sau activă (consultați cartea noastră albă privind stivuirea izolatorilor activi pe izolatori activi). În plus, oferă performanțe de izolare a vibrațiilor într-o gamă largă de frecvențe. Și proiectul "instalare dură" este foarte dur, astfel încât nu există probleme de stabilitate pentru unelte mai înalte și mai ușoare.

Stative și suporturi

Tuburile extrem de rezistente pentru a susține izolatorii STACIS au fost proiectate de echipa de inginerie cu experiență TMC și fabricate de fabrica noastră ISO 9001 în conformitate cu standarde înalte și specificații de sudare certificate. Fiecare insulă liniștită este bine concepută pentru o gamă largă de înălțimi, geometrii și dimensiuni de unelte. Cu mii de dispozitive instalate în întreaga lume care suportă peste 200 de modele diferite de instrumente, TMC are cunoștințe și experiență pentru a proiecta structuri de suport care să îndeplinească nevoile STACIS și ale instalațiilor dvs.

Platformă rigidă

Platforma constă dintr-un strat de plăci de oțel de grosime de 100 mm, proiectat și fabricat de TMC, în care plăcile de oțel sunt blocate în jurul unui material de bază ușor, necompresibil și amortizator. Efectul stratificat al lipirii plăcilor și nucleelor de oțel rigid cu rășină epoxidică într-o placă fără cusură din oțel inoxidabil oferă o rigiditate extrem de ridicată și amortizare structurală. Secțiunea transversală mare și conținutul de oțel generează o rigiditate generală foarte ridicată. Partea superioară și laterală sunt o carcasă continuă din oțel inoxidabil pentru a menține curatea, estetica și integritatea. TMC poate proiecta și fabrica platforme specifice aplicației, inclusiv tăieturi, forme speciale, găuri fixe și șuruburi de anel suspendat, în funcție de nevoi.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Avantajele insulei liniștite

Utilizând tehnologia de amortizare piezoelectrică activă a industriei STACIS - TMC**, proiectarea "hard-mount" și izolarea vibrațiilor începând cu 0,6 Hz este compatibilă cu uneltele de izolare integrată.

Flexibilitate pentru modularizare, personalizare și reorientare - fiecare platformă este personalizată în funcție de aplicația clientului, dar spre deosebire de platformele din beton, acestea pot fi reconfigurate cu ușurință dacă uneltele sau caracteristicile solului se schimbă.

Expertiză - TMC are o vastă experiență în colaborarea cu producătorii de semiconductori, instituțiile de cercetare științifică și OEM-urile de ultraprecizie din ***. Înțelegem clienții și nevoile lor. Noi înşine proiectăm şi construim.

Performanță

Pe o insulă calmă de 24 de inchi, 40 de inchi x 60 de inchi, pe un suport STACIS de 4 locuri,
Măsurarea transmiterii la intrarea VC-C de la sol

Specificații

Specificații de performanță

Cerințe privind proiectarea, dimensiunile, mediul și utilitatea izolatorului

Specificații DC-2020

Alte parametre

AlteleConfigurarea insulei liniștite

Instrumentele mari care nu au specificații de vibrații de mediu necesită, de obicei, un suport rigid și stabil separat de solul activ. Rigid Quiet Island este soluția ideală. Cu aceeași parte superioară a platformei de înaltă performanță, Rigid Quiet Island poate fi, de asemenea, proiectat pentru orice înălțime, orice geometrie a solului și o gamă largă de dimensiuni de unelte. TMC oferă o gamă largă de piloni de diferite tipuri pentru a satisface diverse nevoi, formând astfel soluții modulare, flexibile pentru reorientarea și modernizarea specifice instrumentelor și fabricilor.

Aplicați fotografii

Datorită instalării pe insula noastră liniștită ® Complexitatea, sensibilitatea și valoarea echipamentelor de pe platforma de la sol, nu am creat un catalog standard pentru comandaNu.

Credem că fiecare platformă trebuie să fie proiectată în mod special pentru o anumită aplicație. Pașii recomandați pentru comandă sunt următorii:

▪ Spuneți-ne echipamentul sau instrumentul pe care doriți să îl izolați. Deoarece am instalat mii de dispozitive, este posibil să avem deja o platformă care să îndeplinească cerințele aplicației dumneavoastră. În plus, avem legături strânse cu producătorii de treptoare, aliniatoare, SEM și alte unelte, astfel încât să aflăm noi dimensiuni, forme, schimbări în greutate și specificații privind vibrațiile solului.

▪ Alternativ, s-ar putea să doriți o platformă potrivită pentru un sistem de rețea de sol activ. Clienții aleg de obicei o platformă de 47 x 47 inch (1.190 x 1.190 mm) pentru a înlocui un număr cuplu de gresie.

▪ Spuneți-ne că solul dvs. de activitate este mai înalt decât solul solid.

▪ Vă rugăm să ne descrieți sau să furnizați o ilustrație care să afișeze orice desen de găură în geometria pământului sau a grinzii / grilelor de oțel.

▪ Vă rugăm să ne furnizați datele privind vibrațiile solului sau să discutați cu noi cum puteți aranja măsurarea acestor date.

▪ Luați în considerare sensibilitatea la vibrații a instrumentului. Proiectul nostru rigid, non-rezonant, oferă suport adecvat pentru multe instrumente. Aplicațiile mai sensibile vor necesita suport aerian sau piezoelectric